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數(shù)控中走絲-電容式傳感器-仁光智能

欄目:中走絲線切割資訊 發(fā)布時間:2020-10-21 作者: 仁光智能小陳 來源: 網(wǎng)絡(luò) 瀏覽量: 1287
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數(shù)控中走絲,特別地,電容式傳感器還可以承受更高的滿量程過載,這點對于小量程測試應用也是十分重要的,因為相對高的壓力載荷經(jīng)常會出現(xiàn)在小量程壓力檢測過程中

數(shù)控中走絲,特別地,電容式傳感器還可以承受更高的滿量程過載,這點對于小量程測試應用也是十分重要的,因為相對高的壓力載荷經(jīng)常會出現(xiàn)在小量程壓力檢測過程中。通過上述分析可知,電容式壓力傳感器很適合用于小量程壓力測量。

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數(shù)控中走絲回首歷史,電容式傳感器很早就被用來測量壓力、位移等。但由于當時技術(shù)水平的限制,使它的應用面臨較多的困難,發(fā)展相對緩慢。隨著科技的日新月異,特別是半導體產(chǎn)業(yè)的進步,新材料、新工藝、新電路得以不斷被開發(fā),電容式傳感器曾經(jīng)遇到的許多技術(shù)問題都能夠得到解決,所以從20世紀80年代開始,各國開始對MEMS電容式壓力傳感器進行研究。

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數(shù)控中走絲,作為MEMS壓力傳感器的一個重要發(fā)展方向,國內(nèi)外都探索了如何提高傳感器在測量小量程壓力時的靈敏度,但研究主要集中在壓阻式傳感器,對電容式傳感器的關(guān)注卻比較少。數(shù)控中走絲,國外研制的小量程MEMS電容式壓力傳感器初步實現(xiàn)了產(chǎn)品化,國內(nèi)卻僅有中國科學院的王躍林教授所帶領(lǐng)的研究團隊對此領(lǐng)域開展了系列研究。

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