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搖擺中走絲-微差壓傳感器-仁光智能

欄目:中走絲線切割資訊 發(fā)布時(shí)間:2020-11-26 作者: 仁光小陳 來源: 仁光智能 瀏覽量: 1410
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搖擺中走絲,這種結(jié)構(gòu)不僅可以作為真空絕對(duì)壓力傳感器實(shí)現(xiàn)對(duì)真空環(huán)境的壓力監(jiān)控,還可以作為微差壓傳感器。硅可動(dòng)極板與下層玻璃間的電容Cd用于檢測壓力變化。

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搖擺中走絲,當(dāng)Cd變化時(shí),其變化信號(hào)通過電容/電壓轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)化成電壓變化信號(hào),然后電壓變化信號(hào)通過放大器變成伺服電壓VS,VS反饋到伺服電極上,對(duì)可動(dòng)極板產(chǎn)生一個(gè)和原始變形方向相反的靜電力FS,使薄膜回到初始位置,這樣就實(shí)現(xiàn)了伺服效果,增大了器件的動(dòng)態(tài)工作范圍。同時(shí),當(dāng)壓力過大時(shí),可動(dòng)極板會(huì)碰到下層玻璃完成過載保護(hù)。

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搖擺中走絲,TRANSDUCERS’11會(huì)議上,Evigia Systems公司提出了一種全新結(jié)構(gòu)的MEMS電容式壓力傳感器來同時(shí)獲得高靈敏度和大動(dòng)態(tài)范圍。研究人員將壓敏元件和電容的可動(dòng)極板進(jìn)行了去耦操作,即增加一個(gè)力敏薄膜來感知外界壓力變化,然后將壓敏薄膜通過一個(gè)中心軸與平行板電容式器的可動(dòng)極板進(jìn)行機(jī)械耦合從而實(shí)現(xiàn)小量程壓力測量。

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